台积电是目前最积极导入极紫外光微影设备提供代工量产服务的晶圆厂，也因台积电在鳍式场效电晶体（FinFET）技术工艺精进，台积电在5纳米全数导入极紫外光微影设备。
台积电已宣布3纳米延续采用鳍式场效电晶体架构，依此技术架构，向2纳米迈进。
台积电此前在2019年年报中透露，公司已开始开发2纳米技术，同时针对2纳米以下的技术进行探索性研究。
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